- Amrediad Tonfedd: 190-900nm
- Cywirdeb tonfedd ac atgynyrchioldeb: Cywirdeb tonfedd: gwell na ± 0.20nm Atgynhyrchedd: gwell na 0.06nm
- Cydraniad: 0.2nm ± 0.02nm,
- Sefydlogrwydd gwaelodlin: Statig: drifft gwaelodlin ,s;;0.003Abs/30mun, swn sydyn, s;;0.0005Abs Deinamig: drifft gwaelodlin ,s;;0.003Abs/15munud, Swn ar unwaith ,s;;0.003Abs
- Penderfynu gan fflam: Terfyn canfod ≤0.003 µ g/ml
- Sensitifrwydd≤0.03 µ g/mU1%
- trachywiredd≤0.5%
- Cyfernod cydberthynas llinol ≥0.9998, Ystod llinol ≥0.65Abs
Penderfyniad CD gan ffwrnais graffit:
- Terfyn canfod≤0.5pg
- Sensitifrwydd≤0.6pg
- trachywiredd≤2.8%
- Cyfernod cydberthynas llinol ≥0.9994
Cywiriad Cefndir:
- Mae gallu cywiro cefndir lamp D2 yn 1A yn well na 30 gwaith.Mae gallu cywiro cefndir SH yn 1.8A yn well na 30 gwaith.